大宗气体概述

在工业生产中，大宗气体一般指用量较大的气体，无色无味无臭，但仍有潜在的危险。主要有N2 O2 Ar He H2 CDA等，其主要是大量供应系统使用，因此大都使用槽车充填或大型容器更换，或大型机组直接产生气体方式等。

N2供应系统

N2直接由氮气工厂产生后，经过纯化达到IC工厂要求的品质，再经由配管直接输送至IC工厂N2管线，经由中间过滤器处理，再送至IC厂内纯化器处理，达到要求再10PPB以下，并经分析仪即时检测品质达到制程水准，方可供给制程使用，同时为确保系统24小时不停气，因此采用桶槽作为备用储存，当N2工厂生产有任何问题时可以立即以液态氮供应，以免造成生产线中断影响。

H2供应系统

以氢气槽车方式由联结车送至工厂，再将槽车连接至工厂管线并经由过滤器过滤，再经由纯化器处理，达到要求再10PPB以下，并经分析仪即时检测品质达到制程水准，方可供给制程使用，同时为维持工厂正常运转，一般而言是有一组备用氢气槽车并联运转。

Ar 、O2供应系统

大都以液态大型槽车方式送至工厂，再将液态大型槽车内液体输送至工厂的液体桶槽储存，当IC工厂使用时，此管线再经由蒸发器将液态转变为气态，并经由滤器过滤，再经由纯化器处理，达到要求再10PPB以下，并经分析仪即时检测品质达到制程水准，方可供给制程使用，因此无需备用桶槽并联运转。