特种气体系统

10．4  特种气体系统

10．4．1  特种气体应采用外购钢瓶气体、液态气体供应，在电子工厂内应设置储存、分配系统。

10．4．2  洁净厂房内特种气体的储存分配间应采用耐火极限不低于2．0h不燃烧体的隔墙与洁净室(区)分隔，隔墙上的门窗应为甲级防火门窗。

10．4．3  洁净室(区)内可燃或有毒的特种气体分配系统的设置，应符合下列规定：
1  特种气体钢瓶(含硅烷或硅烷混合物)应设置在具有连续机械排风的特气柜中；
2  排风机、泄漏报警、自动切断阀均应设置应急电源；
3  一个特气分配系统供多台生产设备使用时，应设置多路阀门箱；
4  可燃性、氧化性特种气体管道的设置应符合本规范第10．1和10．2节的有关规定。

10．4．4  特种气体分配系统应设置吹扫盘，并应符合下列规定：
1  应设置应急切断装置；
2  应设置过流量控制装置，
3  应设置手动隔离阀；
4  吹扫气源不宜采用常用气体系统；
5  不相容特种气体的吹扫盘不得共用吹扫气瓶。

10．4．5  硅烷或硅烷混合物的气瓶应存放在洁净厂房建筑外的储存区内。储存区的设置应符合下列规定：
1  储存区应至少三面敞开，气瓶应固定在钢制框架上；
2  气瓶或气瓶组与周围的构筑物或围栏的间距应大于3．0m；
3  储存区顶棚的高度应大于3．5m。